20MHz超声聚焦换能器的设计及其应用

• 作者: 王书双 连红运 齐峥
• 来源期刊: 科技导报
• 学科: 工学
• 关键词: 超声显微镜 聚焦换能器 聚焦声场 压电晶片 成像分辨率
• 年，卷（期）: 2009,（2）
• 所属期刊栏目: 研究论文
• 页码范围: 66-69
• 页数: 4页
• 分类号: TP157
• 字数: 2591字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3321/j.issn:1000-7857.2009.02.014

摘要

为提高工业超声显微镜的成像分辨率,需要用高灵敏度的超声聚焦换能器.本文对研制的聚焦换能器的等效电路进行了理论分析,利用Matlab软件,数值模拟了聚焦换能器沿轴线方向辐射的脉冲聚焦声场,讨论了聚焦换能器的脉冲声场特性.采用特殊工艺研制压电晶片,用环氧树脂和钨粉的混合物作背衬,由此研制的主频为20 MHz宽带窄脉冲有源自聚焦换能器,在实际检测中回波仅有一个波形,缺陷的成像分辨率达0.4 mm.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	连红运	河南职业技术学院机械电子工程系	13	57	6.0	7.0
5	王书双	清华大学机械工程系	4	51	4.0	4.0
6	齐峥	郑州市联通公司运行维护部	1	9	1.0	1.0