多晶硅冶金法除磷的研究进展

• 作者: 罗学涛 郑淞生 陈朝
• 来源期刊: 材料导报
• 学科: 工学
• 关键词: 多晶硅 冶金法 除磷
• 年，卷（期）: 2009,（19）
• 所属期刊栏目: 材料综述
• 页码范围: 11-14,19
• 页数: 5页
• 分类号: TL241.2
• 字数: 4875字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3321/j.issn:1005-023X.2009.19.003

摘要

磷是多晶硅中的一种主要杂质元素,目前国内外采用冶金法除磷的工艺主要包括酸洗除磷、合金定向凝固除磷和真空除磷工艺.其中,酸洗除磷工艺可以很有效地去除磷杂质,但仍未达到太阳能级多晶硅小于0.1×10-4%(质量分数)的要求.采用合金定向凝固工艺可以去除80%以上的磷杂质,但目前对凝固后硅中残留溶剂金属的去除方法还有待进一步的研究.通过真空感应熔炼实验已将磷含量从15×10-4%(质量分数)降低至0.8×10-5%(质量分数),并对除磷的热力学条件进行了初步探索.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	陈朝	厦门大学物理与机电学院物理学系	63	420	11.0	18.0
2	罗学涛	厦门大学材料学院材料科学与工程系	27	229	9.0	14.0
3	郑淞生	厦门大学材料学院材料科学与工程系	5	29	1.0	5.0