基于质量流量混合法的实时配气系统设计

• 作者: 冯巍巍 刘世胜 王东方 詹锴 魏庆农
• 来源期刊: 科技与创新
• 关键词: 质量流量混合法 质量流量控制器 配气系统
• 年，卷（期）: 2009,（5）
• 所属期刊栏目: 嵌入式系统应用
• 页码范围: 13-14
• 页数: 2页
• 分类号: TP271
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1008-0570.2009.05.006

摘要

介绍了一种基于质量流量混合法的实时动态配气系统.该系统采用了高精度的质量流量控制器,可用于配制各种低浓度的标准气体,以满足工业应用和科学研究中标准气体的需求.