MgxZn1-xO:Al靶材制备工艺和Mg掺杂对微观结构的影响研究

• 作者: 任明放 杨玲 王华 许积文 黄竹
• 来源期刊: 材料导报
• 学科: 工学
• 关键词: MgxZn1-xO:Al靶材 预烧 Mg含量 烧结工艺 微观结构
• 年，卷（期）: 2009,（16）
• 所属期刊栏目: 加工工艺与应用
• 页码范围: 95-98
• 页数: 4页
• 分类号: TB383
• 字数: 4126字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3321/j.issn:1005-023X.2009.16.028

摘要

以纳米级的ZnO、MgO和Al2O3粉体为原料,经过湿式球磨得到了混合粉体,采用常压固相烧结的方法制备了高致密度MgXZn1-XO:Al陶瓷靶材,研究了预烧粉体、Mg掺杂量和烧结温度对靶材微观结构和性能的影响.研究表明,预烧粉体可以减少第二相的生成;随着Mg掺杂量的增加,MgO立方相逐渐增多,在x=0.3时产生了相分离;在1100～1300℃内,随着烧结温度的升高,靶材的晶粒大小和密度逐渐增大,增大趋势在1300℃后变缓,1300℃烧结4h可以制得结构均匀、高致密度的MgxZn1-xO:Al靶材.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	任明放	桂林电子科技大学信息材料科学与工程系	29	138	6.0	10.0
2	王华	桂林电子科技大学信息材料科学与工程系	98	463	13.0	17.0
3	许积文	桂林电子科技大学信息材料科学与工程系	68	171	6.0	10.0
4	杨玲	桂林电子科技大学信息材料科学与工程系	35	103	6.0	8.0
5	黄竹	桂林电子科技大学信息材料科学与工程系	4	5	2.0	2.0