不同化学蚀刻法对石英基片激光损伤阈值的影响

• 作者: 吕海兵 晏良宏 袁晓东 赵松楠 郑万国
• 来源期刊: 材料导报
• 学科: 工学
• 关键词: 激光损伤阈值 湿化学蚀刻 石英基片 表面形貌
• 年，卷（期）: 2009,（z1）
• 所属期刊栏目: 新材料与新技术
• 页码范围: 262-264
• 分类号: TB3
• 字数: 2384字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3321/j.issn:1005-023X.2009.z1.078

摘要

为提高三倍频光学元件的表面损伤阈值,采用了不同方式对石英基片进行酸蚀刻,利用原子力显微镜观测了基片蚀刻前后的表面微观形貌,并在激光损伤测量装置上进行了R:1方式的阈值测试,比较分析了蚀刻前后基片激光损伤阈值和表面形貌的变化,并比较了不同抛光质量石英基片蚀刻效果的差异.通过实验研究,总结了不同蚀刻方式的优缺点,研究表明酸蚀刻法可以有效提高石英基片激光损伤阈值.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	袁晓东	中国工程物理研究院激光聚变研究中心	114	624	13.0	17.0
2	吕海兵	中国工程物理研究院激光聚变研究中心	49	310	9.0	14.0
3	郑万国	中国工程物理研究院激光聚变研究中心	106	868	15.0	22.0
4	晏良宏	中国工程物理研究院激光聚变研究中心	17	122	7.0	10.0
5	赵松楠	中国工程物理研究院激光聚变研究中心	17	90	6.0	9.0