二氧化铪晶态薄膜的自组装制备

• 作者: 刘剑 苗鸿雁 谈国强 贺中亮
• 来源期刊: 材料导报
• 学科: 工学
• 关键词: 薄膜 自组装单层膜 HfO2
• 年，卷（期）: 2009,（6）
• 所属期刊栏目: 加工工艺与应用
• 页码范围: 81-83
• 页数: 3页
• 分类号: TB3
• 字数: 1929字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3321/j.issn:1005-023X.2009.06.025

摘要

利用自组装单层膜技术,在玻璃基板上生长有机硅烷单分子膜层,以Hf(SO4)2·4H2O和HCl配制HfO2前驱液,通过液相沉积在硅烷的功能性官能团上诱导生成二氧化铪薄膜.通过接触角测试仪、AFM、SEM及XRD等手段对膜材料的表面形貌和结构进行了研究分析.结果表明,利用自组装单层法成功制备出立方型的HfO2晶态薄膜,薄膜表面均一.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	苗鸿雁	陕西科技大学材料科学与工程学院	99	732	13.0	20.0
2	谈国强	陕西科技大学材料科学与工程学院	107	640	12.0	18.0
3	贺中亮	陕西科技大学材料科学与工程学院	16	67	6.0	7.0
4	刘剑	陕西科技大学材料科学与工程学院	16	55	5.0	7.0