无基底焦平面阵列的红外成像性能分析

• 作者: 伍小平 史海涛 张青川 程腾 陈大鹏 高杰
• 来源期刊: 物理学报
• 学科: 物理学
• 关键词: 光学读出 非制冷红外成像 焦平面阵列 无基底
• 年，卷（期）: 2009,（2）
• 所属期刊栏目: 总论
• 页码范围: 852-859
• 页数: 8页
• 分类号: O4
• 语种: 中文
• DOI: 10.3321/j.issn:1000-3290.2009.02.025

摘要

利用提出的光学读出非制冷红外成像系统,先后制作了单元尺寸各不相同的单层膜无基底焦平面阵列(focal plane array,FPA),获得了室温物体的热图像.分析发现,当FPA的单元尺寸从200μm逐渐减小到60μm时,基于恒温基底模型的理论响应与实验结果的偏差逐渐增大.通过有限元分析方法,模拟分析了不同尺寸的微梁单元在无基底FPA中的热学行为,发现了当单元尺寸逐渐减小时恒温基底模型偏差逐渐增大的原因,即无基底FPA的支撑框架不满足恒温基底条件,受热辐射后支撑框架的温升从基底上抬高了单元的温升.论文还分析了无基底FPA的红外成像性能.当单元尺寸为60μm时,其热探测灵敏度比传统的有基底FPA高一个数量级.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	史海涛	中国科学技术大学中国科学院材料力学行为和设计重点实验室	34	206	8.0	12.0
2	高杰	中国科学技术大学中国科学院材料力学行为和设计重点实验室	33	60	5.0	6.0
3	张青川	中国科学技术大学中国科学院材料力学行为和设计重点实验室	68	411	12.0	15.0
4	伍小平	中国科学技术大学中国科学院材料力学行为和设计重点实验室	62	947	16.0	28.0
5	陈大鹏	中国科学院微电子研究所	79	466	10.0	17.0
6	程腾	中国科学技术大学中国科学院材料力学行为和设计重点实验室	12	32	4.0	5.0