退火气压对Bi3.25La0.75Ti3O12铁电薄膜的微观结构和铁电性能的影响

• 作者: 于军 吴云翼 李佳 李建军 杨卫明 王耘波
• 来源期刊: 物理学报
• 学科: 化学
• 关键词: Bi325La075Ti3O12 铁电性能 sol-gel法 正交化度
• 年，卷（期）: 2009,（2）
• 所属期刊栏目: 凝聚物质:电子结构、电学、磁学和光学性质
• 页码范围: 1246-1251
• 页数: 6页
• 分类号: O6
• 语种: 中文
• DOI: 10.3321/j.issn:1000-3290.2009.02.091

摘要

采用sol-gel法在Pt/TiO2/SiO2/p-Si(100)衬底上制备了Bi3.25La0 75Ti3O12(BLT)铁电薄膜,研究了在750 ℃时不同退火气压(Po2:10-4-3 atm)对薄膜微观结构和电学性能的影响.XRD和拉曼光谱结果表明在10-4和3 atm氧气压下退火的薄膜晶化度明显降低.同时,XRD结果反映出10-1atm氧气压下退火的薄膜具有a轴择优取向.FSEM截面形貌显示0.1 atm氧气压下退火的薄膜由与a轴取向相对应的柱状晶粒构成,1 atm氧气压下退火的薄膜为由随机取向相对应的斜杆状晶粒构成.薄膜的微观结构最终影响了其铁电性能.0.1 atm氧气压下退火的薄膜具有最大的剩余极化值(Pr=17.8 Μc/cm2和最小的矫顽场强(Ec=73.6 Kv/cm),以及良好的抗疲劳特性.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	于军	华中科技大学电子科学与技术系	103	537	11.0	16.0
2	李建军	华中科技大学电子科学与技术系	235	1646	18.0	27.0
3	王耘波	华中科技大学电子科学与技术系	68	398	10.0	16.0
4	李佳	华中科技大学电子科学与技术系	34	116	5.0	10.0
5	杨卫明	华中科技大学电子科学与技术系	6	38	3.0	6.0
6	吴云翼	华中科技大学电子科学与技术系	3	6	1.0	2.0