脉冲激光烧蚀中电声弛豫时间的确定

• 作者: 胡德志
• 来源期刊: 物理学报
• 学科: 物理学
• 关键词: 飞秒激光 电声弛豫时间 双温方程 激光能量密度
• 年，卷（期）: 2009,（2）
• 所属期刊栏目: 流体、等离子体和放电
• 页码范围: 1077-1082
• 页数: 6页
• 分类号: O53
• 语种: 中文
• DOI: 10.3321/j.issn:1000-3290.2009.02.063

摘要

为了提高脉冲激光制备薄膜的质量,准确掌握电声弛豫时间是关键,它对脉冲激光脉宽和能量密度的选取起着决定性的作用. 文中以铝靶材为例,利用经典的双温方程通过时域有限差分法(FDTD)得到电子、离子亚系统的温度随时间和位置演化的图像,进而得到电声弛豫时间的准确值. 这样便能准确划分热烧蚀和非平衡烧蚀,从而更好地控制激光的烧蚀过程. 同时找出了电声弛豫时间随激光脉宽以及能量密度变化的规律.