原子力显微镜仿真平台的设计与实现

• 作者: 周娴玮 张玉东 方勇纯 高金晟
• 来源期刊: 系统仿真学报
• 学科: 工学
• 关键词: 原子力显微镜 仿真平台 接触式 轻敲式 调幅
• 年，卷（期）: 2009,（6）
• 所属期刊栏目: 研究论文
• 页码范围: 1548-1552
• 分类号: TP391.9
• 语种: 中文

摘要

原子力显微镜作为迄今为止应用最成功的微系统之一,在整个微纳米领域中起着举足轻重的作用.原子力显微镜的仿真为其研究提供了第一手的思路,数据与资料,是该领域中极为重要的一个研究方向.分析了原子力显微镜的工作机理和其中的复杂非线性因素,在此基础上,设计并采用Matlab/Simulink工具实现了一个包含接触和轻敲两种模式的原子力显微镜仿真系统,然后通过对样品的扫描结果验证了该仿真平台的有效性.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	方勇纯	南开大学信息学院机器人所	57	809	16.0	27.0
2	张玉东	南开大学信息学院机器人所	9	62	5.0	7.0
3	高金晟	南开大学信息学院电信系	1	10	1.0	1.0
4	周娴玮	南开大学信息学院机器人所	3	29	3.0	3.0