沉积条件对ZnTe/ZnTe:Cu薄膜结构及CdTe电池性能的影响

• 作者: 仲政祥 冯良桓 张静全 李卫 杨帆 武莉莉 蔡亚平 蔡伟 郑家贵 钟永强 雷智 黎兵
• 来源期刊: 物理学报
• 学科: 物理学
• 关键词: ZnTe多晶薄膜 沉积温度 薄膜结构 器件性能
• 年，卷（期）: 2009,（7）
• 所属期刊栏目: 凝聚物质:电子结构、电学、磁学和光学性质
• 页码范围: 4920-4924
• 页数: 5页
• 分类号: O4
• 语种: 中文
• DOI: 10.3321/j.issn:1000-3290.2009.07.084

摘要

用共蒸发法沉积了ZnTe/ZnTe:Cu复合多晶薄膜,通过XRD,XPS,C-V,I-V等研究了沉积温度对薄膜结构、Cu浓度分布及电池性能的影响.结果表明,沉积温度对薄膜的结构影响不明显,薄膜呈立方相,经185 ℃退火后出现了六方相.对薄膜的剖析发现,Cu浓度分布呈现先上升到一极大值而后快速下降的趋势, 100 ℃沉积的ZnTe/ZnTe:Cu薄膜,ZnTe层起到了阻止Cu扩散作用,用这种薄膜制作的太阳电池XD较大,电容较小,二极管特性较好,具有较高的转换效率.