斜入射离子束辅助沉积对类金刚石薄膜结构影响的分子动力学模拟

• 作者: 开花 李之杰 李双 李运超 郭德成
• 来源期刊: 物理学报
• 学科: 物理学
• 关键词: 类金刚石薄膜 入射角 离子束辅助沉积 分子动力学模拟
• 年，卷（期）: 2009,（7）
• 所属期刊栏目: 凝聚物质:电子结构、电学、磁学和光学性质
• 页码范围: 4888-4894
• 页数: 7页
• 分类号: O4
• 语种: 中文
• DOI: 10.3321/j.issn:1000-3290.2009.07.079

摘要

采用分子动力学(MD)模拟方法,从原子尺度上研究了离子束辅助沉积(IBAD)类金刚石(DLC)薄膜过程中离子束入射角对薄膜结构的影响.重点讨论了不同的离子束入射角所对应的薄膜表面模型,平均密度和sp3键含量.结果表明,离子束斜入射加强了入射原子的水平动能,从而加强了原子水平迁移;Ar离子斜入射时C原子迁移率均比垂直入射大,薄膜密度和sp3键含量都比垂直入射小.不同的离子束入射角随着到达比和入射能的变化,对薄膜结构的影响不同.离子束斜入射时可以得到不同结构的膜.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	开花	内蒙古民族大学物理与电子信息学院	4	6	2.0	2.0
2	李运超	内蒙古民族大学物理与电子信息学院	4	6	2.0	2.0
3	郭德成	内蒙古民族大学物理与电子信息学院	7	13	2.0	3.0
4	李双	内蒙古民族大学物理与电子信息学院	9	20	3.0	3.0
5	李之杰	内蒙古民族大学物理与电子信息学院	24	42	3.0	5.0