纳米晶硅薄膜中氢含量及键合模式的红外分析

• 作者: 余楚迎 刘翠青 吴燕丹 李平 林璇英 邱胜桦 陈城钊
• 来源期刊: 物理学报
• 学科: 物理学
• 关键词: 氢化纳米晶硅薄膜 红外透射谱 氢含量 硅氢键合模式
• 年，卷（期）: 2009,（4）
• 所属期刊栏目: 凝聚物质:结构、热学和力学性质
• 页码范围: 2565-2571
• 页数: 7页
• 分类号: O4
• 语种: 中文
• DOI: 10.3321/j.issn:1000-3290.2009.04.067

摘要

采用传统射频等离子体化学气相沉积技术在100-350℃的衬底温度下高速沉积氢化硅薄膜. 傅里叶变换红外光谱和Raman谱的研究表明,纳米晶硅薄膜中的氢含量和硅氢键合模式与薄膜的晶化特性有密切关系,当薄膜从非晶相向晶相转变时,氢的含量减少了一半以上,硅氢键合模式以SiH2为主. 随着衬底温度的升高和晶化率的增加,纳米晶硅薄膜中氢的含量以及其结构因子逐渐减少.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	林璇英	韩山师范学院物理与电子工程系	40	400	10.0	18.0
3	余楚迎	汕头大学物理系	27	321	9.0	17.0
4	邱胜桦	韩山师范学院物理与电子工程系	13	50	4.0	6.0
5	陈城钊	韩山师范学院物理与电子工程系	23	86	5.0	8.0
6	李平	韩山师范学院物理与电子工程系	10	52	5.0	6.0
7	吴燕丹	韩山师范学院物理与电子工程系	18	72	5.0	7.0
8	刘翠青	韩山师范学院物理与电子工程系	26	67	5.0	7.0