PECVD制备AZO(ZnO:Al)透明导电薄膜

• 作者: 刘明海 刘玉萍 罗志清 胡希伟 陈伟 陈兆权
• 来源期刊: 物理学报
• 学科: 物理学
• 关键词: AZO(ZnO:Al) 等离子体增强化学气相沉积 透明导电薄膜
• 年，卷（期）: 2009,（6）
• 所属期刊栏目: 物理学交叉学科及有关科学技术领域
• 页码范围: 4260-4266
• 页数: 7页
• 分类号: O4
• 语种: 中文
• DOI: 10.3321/j.issn:1000-3290.2009.06.102

摘要

采用PECVD(等离子体增强化学气相沉积)工艺在普通玻璃和Si基上制备出了方块电阻低至89 Ω,可见光透过率高达79%,对基体附着力强的多晶态的AZO(ZnO:Al)薄膜.采用PECVD法制备AZO薄膜是一种有益的尝试,AZO透明导电薄膜不仅具有与ITO(透明导电薄膜,如In2O3:Sn)可比拟的光电特性,而且价格低廉、无毒,在氢等离子体环境中更稳定,所获结果对实际工艺条件的选择具有一定借鉴作用和参考价值.