纳米β-FeSi2/a-Si多层膜室温光致发光分析

• 作者: 姜辛 李晓娜 牛华蕾 胡冰 董闯
• 来源期刊: 物理学报
• 学科: 物理学
• 关键词: β-FeSi2 磁控溅射 XRD 光致发光光谱
• 年，卷（期）: 2009,（6）
• 所属期刊栏目: 凝聚物质:结构、执掌和力学性质
• 页码范围: 4117-4122
• 页数: 6页
• 分类号: O4
• 语种: 中文
• DOI: 10.3321/j.issn:1000-3290.2009.06.078

摘要

采用射频磁控溅射的方法,在Si(100)基片上制备了纳米β-FeSi2/Si多层结构,利用X射线衍射、透射电子显微镜、光致发光光谱等表征技术,研究了β-FeSi2/Si多层结构的结构、成分和光致发光特性.研究结果表明:利用磁控溅射法得到的Fe/Si多层膜,室温下能够检测到β-FeSi2的1.53 μm处光致发光信号;未退火时多层膜是(非晶的FeSi2+β-FeSi2颗粒)/非晶Si结构,退火后则是β-FeSi2颗粒/(晶体Si+非晶Si)结构;退火前后样品有相同的PL信号强度,说明非晶的FeSi2+β-FeSi2颗粒和β-FeSi2颗粒可以产生同样的发光性能.实验测出1.53 μm处PL信号也进一步证明了非晶FeSi2的半导体性能.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	董闯	大连理工大学材料科学与工程学院三束材料改性国家重点实验室	198	2023	23.0	34.0
2	李晓娜	大连理工大学材料科学与工程学院三束材料改性国家重点实验室	25	152	7.0	11.0
3	姜辛	大连理工大学材料科学与工程学院三束材料改性国家重点实验室	11	74	6.0	8.0
4	胡冰	大连理工大学材料科学与工程学院三束材料改性国家重点实验室	4	22	2.0	4.0
5	牛华蕾	大连理工大学材料科学与工程学院三束材料改性国家重点实验室	1	6	1.0	1.0