基于eM-Plant的虚拟晶圆制造自动组合装置

• 作者: 伍乃骐 李飞
• 来源期刊: 计算机工程
• 学科: 地球科学
• 关键词: 晶圆制造 自动组合装置 仿真
• 年，卷（期）: 2009,（10）
• 所属期刊栏目: 工程应用技术与实现
• 页码范围: 232-234
• 页数: 3页
• 分类号: N945
• 字数: 4123字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1000-3428.2009.10.077

摘要

针对难以用解析法验证半导体加工装置的调度可行性问题,提出仿真建模研究的新方法.利用仿真软件eM-Plant建立晶圆制造中单臂自动组合装置的参数化仿真模型,构建一个虚拟的晶圆制造系统.该系统为研究自动组合装置控制问题提供有效手段,是验证半导体制造生产调度可行性的仿真平台.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	伍乃骐	广东工业大学机电工程学院	77	815	15.0	25.0
2	李飞	广东工业大学机电工程学院	2	5	1.0	2.0