微电子系统光开关

• 作者: 刘浪
• 来源期刊: 科技创新导报
• 学科: 工学
• 关键词: 微电子机械系统 光开关
• 年，卷（期）: 2009,（12）
• 所属期刊栏目: 技术创新
• 页码范围: 6,8
• 页数: 2页
• 分类号: TN4
• 字数: 3267字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1674-098X.2009.12.004

摘要

本文以光开关为切入点叙述了微电子机械系统技术的特点和优点,井介绍了几种新近开发的光开关实例.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	刘浪	浙江工商大学信息与电子工程学院	1	2	1.0	1.0