带有凸条平板的MEMS结构压膜阻尼效应分析

• 来源期刊: 传感技术学报
• 学科: 工学
• 关键词: 微机电系统 压膜阻尼 带凸条平板 解析解
• 年，卷（期）: 2010,（5）
• 所属期刊栏目: 物理类传感器
• 页码范围: 665-669
• 分类号: TN603.5
• 字数: 2357字
• 语种: 中文

摘要

针对带有凸条平板的MEMS结构压膜阻尼效应,利用基本Reynolds方程和特定的第一类边界条件,给出一种压膜阻尼系数的解析分析方法.在带有凸条平板的MEMS微开关设计与制作的基础上,利用引入该压膜阻尼系数的Simulink模型仿真分析了微开关的动态响应特性,得到的阈值加速度与其落锤测试结果是一致的,从而验证了所提出的带有凸条平板压膜阻尼效应理论分析的正确性.