CO2激光等离子体极紫外光源收集镜研究

• 作者: 傅焰峰 卢彦兆 朱新旺 王新兵 石玉华
• 来源期刊: 激光技术
• 学科: 工学
• 关键词: 激光技术 X射线光学 极紫外光源 激光等离子体 收集镜 ZEMAX
• 年，卷（期）: 2010,（6）
• 页码范围: 725-728
• 分类号: TN249
• 字数: 2785字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1001-3806.2010.06.002

摘要

为了研究极紫外光源系统中收集镜的形状和液体微滴的漂移,计算了收集镜的参量,并采用ZEMAX模拟了液体微滴上下和左右漂移50μm,100μm,150μm时中间焦点的成像变化情况.结果表明,液体微滴在上下方向上的漂移对中间焦点成像的影响很大,应该尽量将上下漂移控制在20μm以下;而液滴在光轴方向上的漂移对中间焦点成像的影响稍小.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	王新兵	华中科技大学武汉光电国家实验室	55	348	10.0	16.0
2	朱新旺	华中科技大学武汉光电国家实验室	1	4	1.0	1.0
3	傅焰峰		1	4	1.0	1.0
4	卢彦兆	华中科技大学武汉光电国家实验室	2	5	1.0	2.0
5	石玉华	华中科技大学武汉光电国家实验室	1	4	1.0	1.0