紫外固化真空负压纳米压印系统的研制

• 作者: 弓巧侠 张慧敏 段智勇 王庆康 罗康 赵立波
• 来源期刊: 微纳电子技术
• 学科: 工学
• 关键词: 纳米压印 紫外固化 真空负压施压 气体施压 图形转移
• 年，卷（期）: 2010,（7）
• 页码范围: 432-436
• 分类号: TN305.7
• 字数: 1647字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1671-4776.2010.07.008

摘要

气体压力施压是实现纳米压印技术中将模板压入转移介质的重要技术路径,在克服应力不均匀、保护基片和模板等方面优势明显.报道了一种旨在提高压卬压力均匀性、低压力施压的真空负压紫外固化纳米压印系统的研制.制备真空腔室,腔室顶部利用弹性橡胶环结合紫外透过性好的SiO2玻璃与腔体连接,采用抽真空的方式形成负压,腔室外大气压强通过SiO2玻璃均匀地作用到压印模板上,将其压入液态紫外敏感光刻胶中,再采用紫外光固化光刻胶,分离后实现模板图形向基板的转移.压印力大小取决于腔室内外的气体压强差,通过调节腔室内部气压大小改变施加在模板上的实际压力,内部气压大小通过连通气压表观察.图形转移实验结果表明,所研制纳米压印样机系统能够实现图形的高保真转移,在基片上形成光刻胶材质的结果图形,500 nm特征线宽图形转移实验结果清晰,在较大面积基片上的压印压力均匀性良好.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	段智勇	郑州大学物理工程学院	37	286	10.0	15.0
2	弓巧侠	郑州大学物理工程学院	27	111	5.0	10.0
3	王庆康	上海交通大学微纳科学技术研究院	23	153	7.0	12.0
4	张慧敏	郑州大学物理工程学院	10	21	3.0	4.0
5	罗康	郑州大学物理工程学院	3	47	3.0	3.0
6	赵立波	郑州大学物理工程学院	1	5	1.0	1.0