湿法腐蚀制备蓝宝石图形衬底的研究

• 作者: 徐现刚 曲爽 李树强 李毓锋 王成新 邵慧慧
• 来源期刊: 人工晶体学报
• 学科: 化学
• 关键词: 湿法腐蚀 蓝宝石图形衬底 GaN 外延层
• 年，卷（期）: 2010,（6）
• 页码范围: 1443-1445
• 分类号: O611
• 字数: 1963字
• 语种: 中文

摘要

利用湿法腐蚀方法,制备出图形化蓝宝石衬底(PSS).在相同的腐蚀时间下,研究腐蚀液温度对腐蚀蓝宝石表面形貌和外延后GaN材料的影响.扫描电镜(SEM)测试结果表明:随着腐蚀液温度的增加,图形的深度增加.腐蚀后图形阵列排布整齐,所有图形都方向一致,这与蓝宝石本身晶体性质有关.腐蚀液温度对外延后GaN的影响也比较大,随着腐蚀液温度的增加,(002)半峰宽逐渐增加,光致发光谱(PL)发光强度逐渐增加.管芯结果表明,LED管芯的光强也逐渐增加.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	李树强	山东大学晶体材料国家重点实验室	3	22	2.0	3.0
5	邵慧慧	山东大学晶体材料国家重点实验室	1	14	1.0	1.0
9	曲爽	山东大学晶体材料国家重点实验室	1	14	1.0	1.0
13	李毓锋		1	14	1.0	1.0
14	王成新		1	14	1.0	1.0