退火对大面积CdTe多晶薄膜薄膜的影响

• 作者: 冯良桓 张静全 李卫 武莉莉 王文武 蔡亚萍 邓懿 郑家贵 雷智 黎兵
• 来源期刊: 四川大学学报（自然科学版）
• 学科: 物理学
• 关键词: 大面积CdTe多晶薄膜 退火
• 年，卷（期）: 2010,（1）
• 所属期刊栏目: 材料科学
• 页码范围: 146-150
• 页数: 5页
• 分类号: O736
• 字数: 2507字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.0490-6756.2010.01.029

摘要

对近空间升华法制备的大面积(30×40 cm~2)CdTe多晶薄膜用不同方法进行退火处理,用XRD、C～V、I～V等研究了退火条件,退火方式对薄膜结构和器件性能的影响.结果表明:刚沉积的CdTe多晶薄膜呈立方相,沿着(111)方向择优取,向而退火后(111)(220)(311)等峰都有不同程度的增加.在纯氧气氛下,400℃退火还出现了新峰.随着退火温度的增加,电导激活能降低.经过连续退火装置在400℃下退火30分钟的电池,1/C~2和V成线性关系,具有较高的掺杂浓度、较理想的二极管因子和较高的转换效率.