无定型Si-C-O-N涂层用于SSiC陶瓷的表面改性研究

• 作者: 唐惠东 孙媛媛 李龙珠 谭寿洪
• 来源期刊: 硅酸盐通报
• 学科: 航空航天
• 关键词: SSiC Si-C-O-N涂层 反射率 标量散射理论
• 年，卷（期）: 2010,（1）
• 所属期刊栏目: 试验与技术
• 页码范围: 248-252
• 页数: 5页
• 分类号: V254.2
• 字数: 3474字
• 语种: 中文

摘要

为了改善SSiC陶瓷反射率较低的情况,采用RF磁控溅射法在SSiC陶瓷表面涂覆了无定型Si-C-O-N涂层.借助XRD、FTIR、XPS等手段对涂层进行了表征,并在可见光波长范围内测量了涂层的反射率.结果显示:涂层主要由Si-N、Si-C和Si-O键组成,涂层抛光后其表面缺陷明显减少,表面粗糙度可达埃级,在可见光波段可将反射率的最低值提升至90%.并运用标量散射理论分析了反射率提高的主要原因.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	谭寿洪	中国科学院上海硅酸盐研究所	45	1121	20.0	33.0
2	李龙珠	常州工程职业技术学院材料工程技术系	29	120	5.0	9.0
3	孙媛媛	常州工程职业技术学院材料工程技术系	30	115	6.0	9.0
4	唐惠东	常州工程职业技术学院材料工程技术系	30	93	5.0	7.0