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300mm生产现状和趋势
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摘要：
许多"观察家"为300mm生产开始的缓慢发展而吃惊.第一个300mm生产厂是西门子和摩托罗拉建立的,两年后第二个300m厂投入运行.英特尔建立了第一个150mm厂,此后相当长时间才由IBM建立第一个200mm生产厂.实际上,300mm生产的发展速度与200mm生产是类似的.
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现代材料动态
主办单位：
北京有色金属研究总院
出版周期：
月刊
ISSN：
CN：
N内资准字：2001—L 0103号
开本：
出版地：
北京新街口外大街2号
邮发代号：
创刊时间：
语种：
chi
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59
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