碳纳米管非对称接触结构制作及电学性能研究

• 作者: 张亚非 胡林 陈长鑫
• 来源期刊: 微纳电子技术
• 学科: 工学
• 关键词: 单壁碳纳米管 介电泳 电子束光刻 非对称 整流
• 年，卷（期）: 2010,（5）
• 所属期刊栏目: 纳米材料与结构专辑
• 页码范围: 273-276
• 分类号: TB383
• 字数: 2394字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1671-4776.2010.05.003

摘要

实验研究了多根或单根单壁碳纳米管与非对称金属电极接触结构的制作方法.先用介电泳方法(DEP)将碳纳米管定向排列在Au电极对之间,再用电子束光刻(EBL)在碳纳米管的一端加工Al电极,获得多根碳纳米管与金铝电极的非对称接触结构.先用EBL在AU电极对一端覆盖Al电极,再用DEP排列碳纳米管,实现单根碳管与金铝电极的非对称接触结构.非对称结构器件的电学测试研究表明,器件的I-V曲线不再对称,呈现出整流特性.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	胡林		1	0	0.0	0.0
2	陈长鑫		1	0	0.0	0.0
3	张亚非		1	0	0.0	0.0