整体硬质合金铣刀上制备CVD金刚石涂层的系统三维流场研究

• 作者: 卢文壮 左敦稳 徐锋 林欢庆 袁佳晶 马乐娟
• 来源期刊: 人工晶体学报
• 学科: 物理学
• 关键词: 铣刀 CVD金刚石 涂层 三维流场
• 年，卷（期）: 2010,（2）
• 页码范围: 345-349
• 分类号: O411
• 字数: 2275字
• 语种: 中文

摘要

本文通过建立整体硬质合金立铣刀上制备CVD金刚石涂层时CVD沉积系统流场的三维模型,研究了进气口分布对该系统流场均匀性的影响,优化了进气口的分布;在仿真的基础上开展了整体硬质合金立铣刀上制备CVD金刚石涂层的验证实验,采用SEM和Raman对制备的CVD金刚石涂层进行了分析测试.结果表明:优化后的流场可以用于制备高质量的CVD金刚石涂层,且批量制备出的在衬底不同位置上的铣刀表面CVD金刚石涂层的质量均匀一致.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	卢文壮	南京航空航天大学机电学院	94	520	12.0	17.0
2	左敦稳	南京航空航天大学机电学院	510	3780	26.0	32.0
3	徐锋	南京航空航天大学机电学院	85	541	13.0	18.0
4	袁佳晶	南京航空航天大学机电学院	3	19	3.0	3.0
5	马乐娟	中国航天科工集团公司南京八五一一研究所	2	8	2.0	2.0
6	林欢庆	南京航空航天大学机电学院	4	6	2.0	2.0