电容型湿度传感器模型计算与分析

• 作者: 单晓锋 杨建红
• 来源期刊: 半导体技术
• 学科: 工学
• 关键词: 聚酰亚胺 湿度传感器 菲克第二扩散定律 动态响应 自由体积理论
• 年，卷（期）: 2010,（11）
• 页码范围: 1138-1141
• 分类号: TP212
• 字数: 2126字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1003-353x.2010.11.022

摘要

以菲克第二扩散定律为基础,建立湿度传感器器件三明治结构模型,对聚酰亚胺电容型湿度传感器进行全面数值模拟,分析其电场分布、升降湿的动态过程及响应时间,并与实验结果进行对比分析.引入了自由体积理论对湿度传感器升、降湿过程的影响,使模拟过程更加符合实际情况,结果显示模拟结果和实验数据吻合良好,并根据对模拟结果分析,发现电极宽度是制约传感器性能的关键参数.该模型能够较准确预测制备的电容型湿度传感器性能,以此来指导高性能湿度传感器研究.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	杨建红	兰州大学物理科学与技术学院	44	143	6.0	9.0
2	单晓锋	兰州大学物理科学与技术学院	1	3	1.0	1.0