透紫玻璃与蓝宝石的热压粘结工艺研究

• 作者: 戴丽英 王远阳 石吟馨 钟伟俊 马建一
• 来源期刊: 光电子技术
• 学科: 物理学
• 关键词: 透射式GaN阴极组件 透紫玻璃 蓝宝石 热压粘结
• 年，卷（期）: 2010,（3）
• 页码范围: 207-210
• 分类号: O462.3
• 字数: 3252字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1005-488X.2010.03.013

摘要

透射式GaN阴极组件是GaN紫外日盲型探测器的最关键部件之一.介绍了制备透射式GaN阴极组件的工艺难点,主要报道了透紫玻璃与蓝宝石的热压粘结工艺的原理和研制过程,并着重分析了热压粘结工艺中出现的问题,同时提出了拟定的解决方案.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	戴丽英	中国电子科技集团公司第五十五研究所	11	53	4.0	7.0
2	钟伟俊	中国电子科技集团公司第五十五研究所	8	26	2.0	5.0
3	石吟馨	中国电子科技集团公司第五十五研究所	6	17	2.0	4.0
4	马建一	中国电子科技集团公司第五十五研究所	5	34	3.0	5.0
5	王远阳	中国电子科技集团公司第五十五研究所	1	2	1.0	1.0