一种化学腐蚀去除硅料中重掺的方法

• 作者: 汪贺杏 王丽
• 来源期刊: 太阳能
• 学科: 工学
• 关键词: 重掺 化学腐蚀 硅料 混酸溶液
• 年，卷（期）: 2010,（12）
• 页码范围: 23-25
• 分类号: TM92|TK51
• 字数: 2572字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1003-0417.2010.12.007

摘要

半导体硅料含杂质时,其电化学势能和表面活性也随之发生变化,重掺硅料比掺杂浓度低的硅料化学电动势大,在混酸溶液中反应速率快,低浓度掺杂的合格料和高浓度掺杂的重掺料就有了选择性腐蚀效果.基于这一原理研究了一种化学腐蚀除重掺的方法.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	王丽		2	1	1.0	1.0
2	汪贺杏		2	1	1.0	1.0