数字PID控制技术在多功能真空离子镀膜设备中的应用

• 作者: 公建宁 张胜
• 来源期刊: 真空电子技术
• 学科: 工学
• 关键词: 数字PID 真空离子镀膜 可编程逻辑控制器 结构化编程
• 年，卷（期）: 2010,（6）
• 页码范围: 59-60,63
• 分类号: TP27
• 字数: 1666字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1002-8935.2010.06.015

摘要

介绍了数字PID(比例-积分-微分)控制算法在多功能真空离子镀膜设备中的应用,并利用三菱Q系列PLC(可编程逻辑控制器)丰富的结构化编程功能和数字PID控制算法的运用,实现对5路气体的输出控制;在本应用中,根据工艺参数表的设定,PLC实时计算出所需气体的输出量并控制其输出,实现自动调节工艺气体的进气量,以达到稳定镀膜室气体压力的目的,保证气体放电条件,提高镀膜层质量.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	张胜		14	35	4.0	5.0
2	公建宁		4	4	1.0	2.0