环形蠕动微泵的优化仿真和实验

• 作者: 伍康 叶雄英 周兆英 杜敏 陈烽
• 来源期刊: 纳米技术与精密工程
• 学科: 工学
• 关键词: 微流体 微泵 环形蠕动泵 泄漏
• 年，卷（期）: 2010,（4）
• 页码范围: 323-329
• 分类号: TP212.1
• 字数: 2627字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1672-6030.2010.04.008

摘要

本文分析了矩形截面环形蠕动微泵存在的泄漏问题及其对微泵性能的影响,减小泄漏是提高微泵背压和自吸能力的有效途径.通过Ansys有限元建立二维接触模型,模拟了各参数项对微泵泄漏率的影响,得出影响微泵泄漏率的主要参数为深宽比和挤压力,在一定范围内,深宽比越小、挤压力越大,则密封性越好,通过仿真拟合得到了计算泄漏率的近似公式;根据计算结果,设计制作了具有不同深宽比参数和不同挤压力的微泵,并对比测量了不同参数微泵的流量及背压,实现了最小2%的实际泄漏率.实验结果表明通过仿真拟合公式计算得到的泄漏率与实测泄漏率具有较好的吻合性.通过拟合公式优化设计微泵的结构参数,可有效降低微泵泄漏率,提高流量控制准确性,增大背压和自吸能力.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	叶雄英	清华大学精密仪器与机械学系	62	1070	15.0	31.0
5	杜敏	清华大学精密仪器与机械学系	6	49	3.0	6.0
9	伍康	清华大学精密仪器与机械学系	8	28	3.0	5.0
13	陈烽	清华大学精密仪器与机械学系	5	30	3.0	5.0
17	周兆英		3	20	2.0	3.0