采用亚微米埋入式光栅的彩色滤光片

• 作者: 叶燕 周云 张恒 陈林森
• 来源期刊: 光学精密工程
• 学科: 物理学
• 关键词: 亚微米埋入式光栅 宽带光谱 彩色滤光片
• 年，卷（期）: 2010,（4）
• 所属期刊栏目: 现代应用光学
• 页码范围: 816-822
• 分类号: O436.1
• 字数: 2225字
• 语种: 中文

摘要

为进一步提高彩色滤光片的色度性能和光能利用率,设计了一种宽带宽高透射率的亚微米埋入式光栅结构,该结构由PMMA基底、ZnS膜层、二维Al金属光栅和SiO2覆盖层等组成.采用严格耦合波理论分析了ZnS膜层厚度、周期、占空比等结构参数对透射光谱特性的影响,并在此基础上优化结构参数,获得了宽带宽滤波输出.当透射光谱中心波长为635,530和455 nm时,相应透射效率分别为68%,78%和71%,半极大值处全宽(FWHM)约为100 nm.计算结果表明,与其他应用于彩色滤光片的光栅结构相比,所设计光栅结构的中心光谱透射效率可提高19%,并有效减少了三色输出光谱之间的重叠区域,提高了彩色滤光片的色度性能.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	陈林森	苏州大学信息光学工程研究所	81	469	12.0	17.0
2	周云	苏州大学信息光学工程研究所	86	443	12.0	18.0
3	叶燕	苏州大学信息光学工程研究所	20	68	4.0	7.0
4	张恒	苏州大学信息光学工程研究所	9	32	4.0	5.0