投影栅相位法轮廓测量的非线性误差分析

• 作者: 余乐文 夏君生 苏兰海 马祥华
• 来源期刊: 光学技术
• 学科: 物理学
• 关键词: 几何光学 轮廓测量 非线性 误差补偿
• 年，卷（期）: 2010,（1）
• 所属期刊栏目: 光学测量
• 页码范围: 102-105
• 页数: 4页
• 分类号: O435
• 字数: 2311字
• 语种: 中文

摘要

分析了投影栅相位法三维轮廓测量系统的非线性误差.建立了几何光学模型, 从理论上推导出被测点的相对高度与像点坐标的关系,研究了系统结构参数改变引起的高度误差的变化.详细阐述了像点坐标误差和系统非线性误差对系统精度的影响, 并给出了高度误差补偿方法.据此提出修正的非线性高度拟合公式, 实验结果证明新拟合公式的优越性.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	苏兰海	北京科技大学机械工程学院	18	221	7.0	14.0
2	马祥华	北京科技大学机械工程学院	17	184	6.0	13.0
3	余乐文	北京科技大学机械工程学院	6	23	3.0	4.0
4	夏君生		1	5	1.0	1.0