微悬臂谐振传感器闭环接口和嵌入式频率电路

• 作者: 于海涛 刘民 李昕欣 甘小华 许鹏程
• 来源期刊: 微纳电子技术
• 学科: 工学
• 关键词: 谐振式微悬臂梁传感器 接口电路 锁相环 嵌入式频率电路 频率跟踪
• 年，卷（期）: 2010,（6）
• 所属期刊栏目: MEMS器件与技术
• 页码范围: 350-356
• 分类号: TP216|TN74|TN751.2
• 字数: 2479字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1671-4776.2010.06.006

摘要

设计了谐振式微悬臂梁传感器闭环接口和嵌入式频率读出电路.首先,谐振式微悬臂梁传感器和接口电路组成闭环自激振荡系统.为了提高该闭环系统的频率稳定性和频率跟踪性能,引入具有无相差频率跟踪的锁相环电路,并设计放大移相电路以满足闭环自激振荡条件.该闭环系统的频率稳定性可达±0.1 Hz,并且能够实时跟踪悬臂梁谐振频率的变化.此外,单独设计了嵌入式的频率读出电路,用于检测并显示悬臂梁的谐振频率.将悬臂梁传感器、接口电路和频率读出电路集成在一起,做出了小巧便携式样机,用该样机可成功探测到体积分数低至约几个10-9量级的DMMP气体.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	李昕欣		15	139	7.0	11.0
2	刘民		3	20	2.0	3.0
3	甘小华		1	17	1.0	1.0
4	于海涛		1	17	1.0	1.0
5	许鹏程		1	17	1.0	1.0