钛酸钡基PTC陶瓷溅射金属化研究

• 作者: 岑嘉宝 王德苗
• 来源期刊: 真空
• 学科: 工学
• 关键词: 直流磁控溅射 PTC 电极
• 年，卷（期）: 2010,（4）
• 页码范围: 36-38
• 分类号: TB741
• 字数: 2316字
• 语种: 中文

摘要

本文进行了钛酸钡基PTC陶瓷的溅射金属化研究.用直流磁控溅射技术来制备BaTiCO3基的PTC陶瓷电极,提出了Ti/Ni-Cu/Ag、Al/Ni-Cu/Ag这两种复合膜层的电极结构.实验结果表明了制备的底电极能与钛酸钡基PTC陶瓷产生良好的欧姆接触,且电极与瓷片间附着性好,耐高温无铅焊锡熔蚀的能力强.该电极制备方法生产成本较低,可控性强,适合用于大规模的工业生产中.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	王德苗	浙江大学信息科学与电子工程系	66	789	15.0	24.0
2	岑嘉宝	浙江大学信息科学与电子工程系	1	9	1.0	1.0