光诱导MOCVD(Photo-MOCVD)技术的发展

• 作者: 严碧惠
• 来源期刊: 福建广播电视大学学报
• 学科: 工学
• 关键词: 光诱导 MOCVD 光源
• 年，卷（期）: 2010,（3）
• 页码范围: 88-91
• 页数: 4页
• 分类号: TN929.1
• 语种: 中文

摘要

MOCVD是一种生长或外延薄膜的技术.将光引入外延过程,利用光的量子性,使反应的物理和化学过程得到促进,进而发展了一种新的化合物半导体薄膜制备技术,即光诱导MOCVD技术.本文综合分析了该技术的基本原理、实验装置、光源的分类和选择及该技术的实践应用,介绍了反应室结构的开发设计及光源的新进展.