气体探测用低功耗微型加热器研究

• 作者: 李铁 王跃林 许磊 高秀丽
• 来源期刊: 测试技术学报
• 学科: 工学
• 关键词: MEMS 低功耗 微型加热器 铂 各向异性腐蚀
• 年，卷（期）: 2010,（5）
• 页码范围: 410-413
• 分类号: TP212
• 字数: 1973字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1671-7449.2010.05.009

摘要

介绍了一种基于MEMS技术的可用于气体探测的低功耗微型加热器.通过结构优化和工艺参数控制实现了一种低功耗和高机械强度加热器的设计与制作.该加热器采用悬膜式结构,中心加热膜区通过4根细长的悬梁与衬底框架相连,铂电阻丝作为加热元件以折线的形式排列在中心膜区上,采用硅各向异性腐蚀液正面释放薄膜,并在薄膜下方形成倒金字塔型的隔热腔体.测试结果表明,加热器在400 C时功耗仅为26 mw,且加热器的升温响应时间小于5 ms,降温响应时间小于2 ms.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	王跃林	中国科学院上海微系统与信息技术研究所传感技术联合国家重点实验室微系统技术国家级重点实验室	84	623	14.0	18.0
2	李铁	中国科学院上海微系统与信息技术研究所传感技术联合国家重点实验室微系统技术国家级重点实验室	37	133	6.0	9.0
3	许磊	中国科学院上海微系统与信息技术研究所传感技术联合国家重点实验室微系统技术国家级重点实验室	35	765	15.0	27.0
4	高秀丽	中国科学院上海微系统与信息技术研究所传感技术联合国家重点实验室微系统技术国家级重点实验室	6	133	3.0	6.0