Cu掺杂ZnO薄膜光学性质的研究

• 作者: 于业梅 徐言东 李新坤 李清山 蒙岩峰
• 来源期刊: 激光技术
• 学科: 物理学
• 关键词: 薄膜 Cu掺杂ZnO 脉冲激光沉积 蓝光发射
• 年，卷（期）: 2010,（4）
• 所属期刊栏目: 激光材料与光学元件
• 页码范围: 456-458,528
• 分类号: O484.4+1
• 字数: 2957字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1001-3806.2010.04.007

摘要

为了制备结晶质量好的Cu掺杂ZnO薄膜,研究其结构和光学性质,采用脉冲激光沉积方法,在Si衬底上选择不同的衬底温度来制备薄膜.实验成功制得了结晶质量较好的Cu掺杂ZnO薄膜.利用X射线衍射仪、扫描电子显微镜和荧光分光光度计对样品进行了测量和分析.所制备的样品均表现出高度的c轴择优取向,衬底温度为300℃时,薄膜表面形貌均匀致密;在样品的光致发光谱中,发现样品除了在380nm附近出现紫外发光峰外,在460nm附近出现了蓝光发光峰,真正意义上实现了ZnO薄膜的蓝光发射.结果表明,衬底温度对其晶体质量有较大影响.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	李清山	曲阜师范大学物理工程学院	57	249	9.0	12.0
5	徐言东	曲阜师范大学物理工程学院	5	17	3.0	4.0
6	李新坤	曲阜师范大学物理工程学院	5	19	3.0	4.0
7	于业梅	曲阜师范大学物理工程学院	3	13	2.0	3.0
8	蒙岩峰		1	3	1.0	1.0