激光微加工制作的微光纤珐-珀加速度传感器

• 作者: 俞晓婧 冉曾令 饶云江
• 来源期刊: 光学与光电技术
• 学科: 工学
• 关键词: 光纤光学 传感器 激光微加工 光纤珐-珀腔 加速度计 MUSIC算法
• 年，卷（期）: 2010,（5）
• 页码范围: 13-15
• 分类号: TN253
• 字数: 1233字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1672-3392.2010.05.003

摘要

将157 nm激光微加工制作的微光纤珐-珀腔贴于悬臂梁结构构成加速度传感器.通过设计特定的悬臂梁结构和FFT方法,该加速度传感器的分辨率约为1.13 mg/Hz1/2.通过采用MUSIC算法处理信号,信噪比可提高45 dB,系统分辨率约为3.56×10-2 μg/Hz1/2.该微光纤珐-珀传感器具有可批量制作、成本低、抗高温、量程灵活等优点,有望应用于石油勘探、地震测量等领域中.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	饶云江	电子科技大学宽带光纤传输和通信网技术教育部重点实验室	81	1209	21.0	31.0
2	冉曾令	电子科技大学宽带光纤传输和通信网技术教育部重点实验室	41	576	11.0	23.0
3	俞晓婧	电子科技大学宽带光纤传输和通信网技术教育部重点实验室	2	3	1.0	1.0