纳米薄膜晶粒生长的厚度效应

• 作者: 丁洪 安之南 戎咏华
• 来源期刊: 上海交通大学学报
• 学科: 工学
• 关键词: 蒙特卡罗法 晶粒生长 厚度效应 纳米薄膜
• 年，卷（期）: 2010,（1）
• 所属期刊栏目: 金属学与金属工艺
• 页码范围: 25-30
• 页数: 6页
• 分类号: TG111.7|O484
• 语种: 中文

摘要

应用各向异性蒙特卡罗方法模拟不同厚度纳米薄膜退火时的晶粒生长过程,通过引入厚度因子来修正Burke提出的动力学模型.结果表明:厚度效应对晶粒生长的抑制作用并非表现在晶粒生长初期,而是当晶粒尺寸达到薄膜厚度的0.8～1.2倍时才变得明显;修正后的抑制晶粒生长动力学方程可清晰描述纳米薄膜中的厚度效应,且与模拟结果更吻合.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	戎咏华		80	533	12.0	20.0
2	安之南		2	3	1.0	1.0
3	丁洪		2	0	0.0	0.0