我国改良西门子法多晶硅生产技术进展

• 作者: 严世权 叶芸华
• 来源期刊: 上海有色金属
• 学科: 工学
• 关键词: 改良西门子法 多晶硅 一次转化率 生产
• 年，卷（期）: 2010,（4）
• 页码范围: 167-170
• 分类号: TN304.1+2
• 字数: 3421字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1005-2046.2010.04.004

摘要

简述了近几年我国改良西门子法多晶硅的技术进展,列出了大部分已建和在建多晶硅厂(公司).文中给出了多晶硅产量、电能单耗和SiCl4热氢化的一些数据,并指出当前生产中存在的一些问题.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	严世权		1	24	1.0	1.0