Al掺杂ZnO厚膜的sol-gel法制备及其气敏性能研究

• 作者: 杨瑞霞 潘国峰 田野
• 来源期刊: 电子元件与材料
• 学科: 工学
• 关键词: sol-gel法 纳米ZnO厚膜 铝掺杂 气教性能 灵敏度
• 年，卷（期）: 2010,（11）
• 页码范围: 27-31
• 分类号: TP212
• 字数: 4791字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1001-2028.2010.11.008

摘要

以硝酸锌、硝酸铝和氢氧化钠为原料,采用sol-gel法制备铝掺杂的纳米氧化锌厚膜(样品),并利用XRD和SEM对其微观结构进行了表征.研究了铝掺杂量和退火温度对ZnO厚膜的气敏性能的影响.结果表明:700℃退火,掺w(Al)为2.9%的样品对体积分数为4.0×10-1的丙酮有很好的选择性,最大灵敏度达到7 779左右,最佳工作温度约为162℃,响应,恢复时间均为1 s,最后讨论了铝掺杂纳米氧化锌的气敏机理.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	杨瑞霞	河北工业大学信息工程学院	180	759	13.0	18.0
2	潘国峰	河北工业大学信息工程学院	70	462	10.0	18.0
3	田野	河北工业大学信息工程学院	9	45	4.0	6.0