共振隧穿微陀螺仪哥氏效应仿真及理论验证

• 作者: 刘俊 李孟委 杜康 汪圣稀 石云波
• 来源期刊: 中北大学学报（自然科学版）
• 学科: 工学
• 关键词: 哥氏效应 ANSYS仿真 共振隧穿效应 微陀螺仪
• 年，卷（期）: 2010,（1）
• 所属期刊栏目: 电子与电子信息
• 页码范围: 81-87
• 页数: 7页
• 分类号: TP212.12
• 字数: 2974字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1673-3193.2010.01.017

摘要

介绍了微机械陀螺和共振隧穿效应器件的工作原理,提出了基于共振隧穿效应的微机械陀螺仪结构.利用ANSYS软件仿真分析了输入角速度、角加速度及驱动速度对哥氏效应的影响.对微陀螺仪的检测结构进行了理论建模,详细分析了输入角速度、哥氏力、检测梁正应力三者间的关系,并推导出检测梁正应力的理论计算关系式.经数据分析验证了计算结果与仿真结果是一致的,说明基于ANSYS软件的仿真分析方法是可行的,能够用于共振隧穿微陀螺仪的结构设计中.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	刘俊	中北大学仪器科学与动态测试教育部重点实验室	181	1162	17.0	24.0
2	石云波	中北大学仪器科学与动态测试教育部重点实验室	108	610	14.0	20.0
3	李孟委	中北大学仪器科学与动态测试教育部重点实验室	30	75	5.0	7.0
4	杜康	中北大学仪器科学与动态测试教育部重点实验室	8	39	3.0	6.0
5	汪圣稀	中北大学仪器科学与动态测试教育部重点实验室	1	3	1.0	1.0