极高真空校准室内残余气体的成分分析

• 作者: 冯焱 卢耀文 张涤新 徐婕 成永军 李得天 赵澜
• 来源期刊: 真空科学与技术学报
• 学科: 工学
• 关键词: 不锈钢 极高真空 残余气体 四极质谱计 非蒸散型吸气剂泵
• 年，卷（期）: 2010,（1）
• 所属期刊栏目: 技术交流
• 页码范围: 54-59
• 页数: 6页
• 分类号: TB77
• 字数: 4647字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1672-7126.2010.01.11

摘要

用四极质谱计对316L不锈钢制作的极高真空(XHV)校准室在烘烤前、后的残余气体成分进行了分析.一个热阴极电离规(IE514)和一个四极质谱计(QMS200)连接在XHV校准室上.烘烤前,开、关热阴极电离规以及对其进行除气,放出的气体主要有H_2O、CO、H_2、CH_4和CO_2.烘烤后,开、关热阴极电离规以及对其进行除气,放出的气体主要有CO、H_2、CO_2和CH_4.整个烘烤过程完成后2h,XHV校准室内的压力在室温下通过分子泵串联抽气机组抽至8.97×10~(-9)Pa,用四极质谱计分析到的残余气体成分主要为H_2和CO.整个烘烤过程完成后4h,打开非蒸散型吸气剂泵(NEGP)对XHV校准室抽气,结果表明NEGP对H_2具有较大的抽速,但对碳氢类化合物(如CH_4)和惰性气体几乎没有抽速.用NEGP对XHV校准室连续抽气72h后,XHV校准室内的压力从8.34×10~(-9)Pa下降到9.12×10~(-10)Pa.不锈钢XHV校准室内的残余气体成分中大量的CO和CO_2主要来自于四极质谱计.