单面键合面发射激光器的研制与分析

• 作者: 何国荣 渠红伟 郑婉华 陈良惠
• 来源期刊: 光通信技术
• 学科: 物理学
• 关键词: 垂直腔面发射激光器(VCSEL) 键合 布喇格反射镜(DBR)
• 年，卷（期）: 2010,（3）
• 所属期刊栏目: 光器件
• 页码范围: 4-7
• 页数: 4页
• 分类号: O485
• 字数: 2193字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1002-5561.2010.03.002

摘要

键合长波长垂直腔面发射激光器(VCSEL)的研制对于光通信的发展具有重要意义,可以有效克服传统外延生长方法的诸多难題.文章通过对布喇格反射镜、有源区和光学腔的设计,结合键合技术进行工艺设计,研制出单面键合长波长垂直腔面发射激光器,并对器件进行了光泵浦测试与分析.器件的光泵激射证明结构及工艺设计是合理的,键合后的界面可以承受腐蚀、剥离、氧化等后续工艺,且键合界面未对器件光学性能造成明显不良影响.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	陈良惠	中国科学院半导体研究所光电子中心	59	338	11.0	15.0
2	何国荣	深圳信息职业技术学院电子通信技术系	16	41	4.0	5.0
3	渠红伟	中国科学院半导体研究所光电子中心	12	34	3.0	5.0
4	郑婉华	中国科学院半导体研究所光电子中心	23	102	7.0	9.0