光刻技术在金属板片刻蚀上的应用

• 作者: 宁建华
• 来源期刊: 火箭推进
• 关键词: 光刻技术 层板喷注器 膜片阀
• 年，卷（期）: 2010,（1）
• 所属期刊栏目: 工艺与材料
• 页码范围: 54-57
• 页数: 4页
• 分类号: V434
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1672-9374.2010.01.010

摘要

介绍了应用双面自对准光刻技术刻蚀金属板片的工艺原理、方法、工艺参数的选取原则以及双面自对准光刻模具设计准则,该项技术已成功应用于液体火箭发动机层板喷注器和膜片阀的研制和生产之中.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	宁建华		5	6	2.0	2.0