四氯化硅氢化研究进展

• 作者: 满慈皊 陈其国 陈涵斌
• 来源期刊: 氯碱工业
• 学科: 工学
• 关键词: 四氯化硅 三氯氢硅 多晶硅 热氢化 氯氢化 等离子体法氢化
• 年，卷（期）: 2010,（6）
• 所属期刊栏目: 产品
• 页码范围: 27-30
• 分类号: TQ127.2
• 字数: 3962字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1008-133X.2010.06.012

摘要

综述了四氯化硅热氢化法、氯氢化法和等离子体氢化法制备三氯氢硅的最新进展,并对这3种技术进行了对比.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	陈其国		13	87	5.0	9.0
2	陈涵斌		1	42	1.0	1.0
3	满慈皊		1	42	1.0	1.0