五自由度宏/微双重驱动并联机构及其运动学分析

• 作者: 冯海兵 刘艳辉 赵铁石 边辉
• 来源期刊: 燕山大学学报
• 学科: 工学
• 关键词: 宏/微双重驱动 并联机构 扫描电子显微镜
• 年，卷（期）: 2010,（6）
• 页码范围: 501-507,515
• 分类号: TP242
• 字数: 2764字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1007-791X.2010.06.004

摘要

提出了一种扫描电子显微镜用4-PSPS/PRPUR五自由度宏/微双重驱动并联机构,该机构可以实现三维移动和两维转动.采用螺旋理论分析了该机构的自由度,采用基于螺旋系线性相关性的并联机构输入选取判别方法,选取了驱动副并进行了合理性判别.在此基础上对该双重驱动并联机构进行了位置反解分析,结合其应用给出了数值算例,并进一步对该机构进行了速度、加速度分析,且给出了速度、加速度的数值算例.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	赵铁石	燕山大学机械工程学院	55	968	18.0	29.0
2	边辉	燕山大学机械工程学院	17	261	8.0	16.0
3	冯海兵	燕山大学机械工程学院	5	20	3.0	4.0
4	刘艳辉	燕山大学机械工程学院	2	71	2.0	2.0