基于碳纳米管长线场发射的真空测量

• 作者: 刘亮 姜开利 杨远超 范守善
• 来源期刊: 真空
• 学科: 工学
• 关键词: 计量学 真空测量 碳纳米管长线 场发射
• 年，卷（期）: 2010,（4）
• 页码范围: 75-78
• 分类号: TB935|TB77|O462.4
• 字数: 2602字
• 语种: 中文

摘要

利用碳纳米管的场发射性质,研制了一种新型的真空测量装置.该装置采用了电离规的测量原理,它由碳纳米管阴极、阳极和收集极组成,通过测量离子流与电子流的比值来指示真空度.其中的碳纳米管阴极由碳纳米管长线制成,由于碳纳米管长线的宏观尺度,这种阴极可以高效地制备.在动态真空系统中测试了该装置的计量特性,结果在10-4～10-1Pa的范围内有良好的线性特征.由于该装置采用了场发射阴极,它的功耗只有约5.5 mW.另外,相比于传统的热发射阴极,该装置没有明显的吸放气效应.这些特点使得它在密封真空器件,如场发射显示器,内部的真空测量中有广泛的应用前景.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	杨远超	中国计量科学研究院热工计量科学与材料特性测量技术研究所	6	16	2.0	4.0