基于频分复用的多路微电容检测技术

• 作者: 付真斌 段光武 韩丰田
• 来源期刊: 传感技术学报
• 学科: 工学
• 关键词: 微电容检测 频分复用 检测灵敏度 零位稳定性 静电悬浮
• 年，卷（期）: 2010,（3）
• 所属期刊栏目: 物理类传感器
• 页码范围: 341-346
• 页数: 6页
• 分类号: TP274|TP212.121
• 字数: 4505字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1004-1699.2010.03.011

摘要

为使静电悬浮微电机的环形转子稳定悬浮在定子电极腔体的几何中心,需要采用差动电容式传感器检测转子沿五个自由度的运动,然后通过静电悬浮控制系统实现有源静电支承.根据频分复用原理,设计了一套可检测悬浮式转子五个自由度运动的微电容检测电路.采用多路高频正弦信号作为载波加载至与各自由度对应的控制/检测电极上,通过公共电极输出反映转子沿各自由度位移变化的调幅信号,然后经过交流放大、相敏解调、低通滤波后得到各自由度位移检测信号.文中介绍了微电容检测电路的组成及原理,分析了电路特性,给出了x轴检测电路的测试结果.实验表明,检测电路的灵敏度为23.3 V/pF,通频带为10.58 kHz,零位稳定性优于0.1 mV.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	韩丰田	清华大学精密仪器与机械学系	48	263	9.0	12.0
2	段光武	清华大学精密仪器与机械学系	2	12	2.0	2.0
3	付真斌	清华大学精密仪器与机械学系	2	12	2.0	2.0